エムエス機器株式会社 プラズマエッチャーチラー NIKOLA3K/5K
- 最終更新日：2022-05-18 15:14:51.0
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フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適！消費電力最大60％削減！騒音・振動も防止！
『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー
です。
半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。
主要エッチャーメーカーの製品に対応！
温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。
【特長】
■消費電力を最大60％削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
基本情報プラズマエッチャーチラー NIKOLA3K/5K
【基本仕様】
温度範囲：－10℃～80℃
冷却能力：NIKOLA3K ： 3000W＠20℃ NIKOLA5K ： 5000W＠20℃
加熱能力：2000W＠25℃
タンク：10L
接液部材質：アルミニウム、ステンレススチール、ポリマー
外寸法：W566×D711×H887(mm)
※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 300mmプラズマエッチング装置に採用。 |
カタログプラズマエッチャーチラー NIKOLA3K/5K
取扱企業プラズマエッチャーチラー NIKOLA3K/5K
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科学機器の輸入・国内販売及びアフターサービス業務。
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