エムエス機器株式会社 消費電力大幅削減！ペルチェチラー 『NIKOLA3K/5K』
- 最終更新日：2022-03-04 17:44:34.0
- 印刷用ページ
フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適！消費電力最大60％削減！騒音・振動も防止！
『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー
です。
半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。
主要エッチャーメーカーの製品に対応！
温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。
【特長】
■消費電力を最大60％削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
基本情報消費電力大幅削減！ペルチェチラー 『NIKOLA3K/5K』
【基本仕様】
温度範囲：－10℃～80℃
冷却能力：NIKOLA3K ： 3000W＠20℃ NIKOLA5K ： 5000W＠20℃
加熱能力：2000W＠25℃
タンク：10L
接液部材質：アルミニウム、ステンレススチール、ポリマー
外寸法：W566×D711×H887(mm)
※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ・300mmプラズマエッチング装置に採用。 ・ドライエッチング装置のプラズマ周りの温度制御に最適です。 |
カタログ消費電力大幅削減！ペルチェチラー 『NIKOLA3K/5K』
取扱企業消費電力大幅削減！ペルチェチラー 『NIKOLA3K/5K』
-
-
科学機器の輸入・国内販売及びアフターサービス業務。
消費電力大幅削減！ペルチェチラー 『NIKOLA3K/5K』へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
