高純度ケミカルと半導体製造プロセスのコンポーナントとシステムソリューション

GEMÜ製（GEMU）のマルチポートブロックバルブは、完全オーダーメイドでお客様の仕様に合わせて1点ずつ設計・製作いたします。
マニフォールドを用いた省スペース設計で,接続箇所が少ないため漏れのリスクも最小限になります。

★マルチポートブロックバルブのメリット
1. デッドレグが0のため,液溜まりの心配がありません
2. バルブの配管スペースが50%以上小さくなります
3. 配管の手間と,部材コストを削減できます （詳細を見る）

チューブ,フロート,ユニオン全ての材質には耐食性に優れるPVDFを使用しているため,高純度流体に最適です。
流体の種類やご希望のスケールに合わせた目盛付チューブをオーダーメイドで製作可能です。 （詳細を見る）

C31型は,圧力媒体により動作する高品質の圧力トランスミッターです。
主に半導体およびマイクロエレクトロニクス産業向けのメタルフリー構造です。

接液部は全てPTFEまたはPFA製であるため,浸食性・腐食性流体,高純度の流体に最適です。
3層ダイアフラム構造により,プロセス流体とセンサー部を確実に隔離しているため,長期にわたり安定した計測を保証します。 （詳細を見る）

ハイテク分野の多くでは,プロセス流体の純度が製品の品質と生産量を決定します。

GEMÜ製品は生産設備の中で,洗浄,コーティング,エッチング,充填プロセスの流体制御を担っています。

化学薬品の供給分野におけるGEMÜ社の強みは,あらゆるアプリケーションに対応する豊富なラインナップと,高耐久で流体の純度を低下させないことです。
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ウェットプロセスとは生産システムの中で液体,特にケミカルリキッドを施用する工程を指し,半導体製造のコアとなる工程です。

GEMÜ製品は接液部がPTFEまたはPFAによってできており,腐食性ケミカルに影響を受けない高い耐薬品性を持ちます。

また,省スペース,フレキシブルでコンパクトなデザイン,そして圧力損失を抑えた高い流量能力といった付加価値も提供いたします。 （詳細を見る）

GEMÜのバルブ,計測器,制御システムはウェットプロセスに使われるような腐食性ケミカルに接しても素材の溶出を起こさず,流体の純度を高いまま保持します。

GEMÜ社よりPFA製のダイアフラムバルブ,ブロックバルブ,圧力計,超音波流量計が提案できます。
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太陽電池の製造にもウェットプロセスが組み込まれており,ここでは流体の純度が保たれること以上に,コンポーネントの耐薬品性が重視されます。

GEMÜ社はPFA,PVDF,PPコンポーネントを幅広く提供しております。 （詳細を見る）

CMPスラリーのアプリケーションには極めて厳しい仕様要求があります。GEMÜのコンポーネントはその要求を満たしながら,流量を最大化する構造を持ち,研磨性スラリーを安全に運びます。

このアプリケーションには,GEMÜよりPFA製のダイアフラムバルブ,グローブバルブ,計測器,フィッティングチューブをご提案できます。 （詳細を見る）

プラスチック製のバルブやフローメーターだけでなく,GEMÜはスライススラリーを低負荷で効率良く流すステンレス製コンポーネントにも強みを持ちます。

GEMÜのバルブ設計ノウハウは,ステンレス製バルブ分野での長い経験の中で培われてきました。 （詳細を見る）

調達コストと環境負荷低減の両面から,スラリー回収は必須です。

このアプリケーションには,GEMÜよりプラスチック製ダイアフラムバルブ,金属製ダイアフラムバルブをご提案いたします。 （詳細を見る）

超高純度溶剤を用いるアプリケーションには,通常ステンレスが用いられます。

GEMÜのステンレス製バルブは,最適化されたボディ形状により高いシール性能を実現します。
また,アクチュエーターとボディは耐薬品性に優れているため,安心してお使い頂けます。 （詳細を見る）

沈殿生成は排水処理における典型的な工程で,排水に沈殿剤を注入し,溶解物質を析出させて除去します。

沈殿剤の正確な注入のために,GEMÜのPFA製超音波流量計がご提案可能です。 （詳細を見る）

このアプリケーションでは,GEMÜのPFAおよびPVDF製バルブが使われます。

高品質な材料とメタルフリー構造で,高純度な流体のハンドリングに適しています。 （詳細を見る）

半導体工業において超高純度溶剤が使用されるラインでは,耐薬品性と価格の両面から高度な要求がなされます。

GEMÜは高い流量能力と優れた経済性を併せ持つ,PFA製品群を広範囲にわたって提供しています。 （詳細を見る）

多量のケミカル流体を使用する一般工業分野でも,GEMÜの各種フッ素樹脂製コンポーネントはご使用頂けます。

バルブは最大100A(4')のサイズまでラインナップしております。 （詳細を見る）

このアプリケーションでは,GEMÜのPFA製バルブ・継手・計測機器が使われます。

高品質な材料とメタルフリー構造で,流体の純度を低下させません。 （詳細を見る）

半導体製造装置及び化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製ダイアフラムバルブ(ダイヤフラムバルブ）です。
コンパクトかつ500万回以上の開閉にも耐えうる高い耐久性を持ちます。
流路がスムーズでデッドスペースが最小の構造です。

補助スプリングが内蔵されており、低温の環境下で樹脂が変形したとしても、補助スプリングがダイアフラムを押さえつけて、シール性を保ちます。

最高使用温度180℃の仕様でも製作できます。 （詳細を見る）

半導体産業では,物質の溶解や洗浄のために有機溶剤が使用されています。
洗浄に用いられる溶剤は特に腐食性が強く,取り扱いが困難なため,バルブには高い耐薬品性が求められます。

GEMÜは高いKv値と耐薬品性を兼ね備えた製品群を提供致します。
製品は純度を保つため,原則としてステンレスおよびPFAで製作しています。

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スラリーのハンドリングは,主に3ステップに分けられます。
・調整と混合
・供給と輸送
・除去と回収

GEMÜ製品は抵抗の少ないシート形状で,バルブと流体の双方に負荷をかけない設計となっています。

接液部の材質はすべてPTFEまたはPFAとし,十分な耐薬品性を備えるとともに,砥粒を含むスラリーの研磨性に対しても高い耐久性を持ちます。 （詳細を見る）

ハイテク産業において製品の最終的な品質は,超純水ないし純水と呼ばれる水の清純度によって決まります。
GEMÜのハイピュリティーダイアフラムバルブは超純水の処理,輸送供給とプロセスラインでの使用を前提に開発されました。

またハイテク産業向けに限らず,GEMÜは水処理に関わる設備向けに幅広く製品をラインナップしております。
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プロセス排水は多種多様であるため,設備やコンポーネントには高い処理能力が求められます。
新たな生産プロセスが排水の物理的,化学的環境負荷を増大させる一方で,排出量低減,水質基準への要求も厳しくなっています。

GEMÜはプロセス排水の種類や温度,圧力に応じて,主にPP,PVDF,PFA製の,排水処理に最適なコンポーネントをご用意しております。 （詳細を見る）

半導体や太陽電池の生産工程以外にも,ウェットプロセスは至るところにあります。それぞれの産業分野の各生産分野の皆様とともに,GEMÜは最適な製品群の構築に長く努めてまいりました。

GEMÜからはPP,PVDFコンポーネントが使われます。 （詳細を見る）

GEMÜのマルチポートブロックバルブは,自由度の高いコンパクトな構造と,
それによる低コストを特徴としています。
ブロック一つで,バルブ複数台分の機能を有します。

材質はステンレスおよびプラスチックからお選びいただけます。 （詳細を見る）

このアプリケーションでは,GEMÜのPVDFおよびPP製バルブが使われます。

高品質な材料とメタルフリー構造は脱イオン水のハンドリングに適しています。 （詳細を見る）

GEMÜは,水の流量コントロール・計測に幅広く活躍する汎用バルブを,PVDFおよびPP製でもご提案可能です。

またユニークなプラスチック製のマルチポートブロックバルブは,入り組んだ配管の省スペース化に最適です。 （詳細を見る）

製品の品質に関わる超純水のハンドリングには, 厳格な管理体制の下で製造されたGEMÜのPVDF及びPP製の製品がご提案可能です。 （詳細を見る）

半導体の製造工程では数多くの腐食性化学薬品が使用されているため,大部分の排水は化学的に中和する必要があります。

これらの工程から出る排水の処理には,高い耐薬品性を持つGEMÜの各種フッ素樹脂バルブが使われます。 （詳細を見る）

『太陽電池用ウェハー製造工程の排水処理』は,使用済スラリーの処理により発生した,様々な成分を含む排水を処理するプロセスです。

排水には主に,油脂,酸,アルカリ,重金属が含まれており,また固形物を多く含む場合もあります。
このような排水を法規制に従って廃棄ないし下水に放流するためには,適切な前処理が必要です。原水をろ過・中和したのち逆浸透装置を通すことで,下水道へ放流することができます。 （詳細を見る）

超純水（UPW）は,半導体や太陽電池用ウェハーの製造工程で多く使用されます。

ウェハー表面に付着した研磨剤は洗浄工程で除去され,最終工程で超純水によって再度洗浄されます。
その後のエッチング工程で発生した残留物を除去するためにも超純水による洗浄が必要となります。

このような製造工程中のウェハー表面を清浄に保つことが,発電効率を最大限に発揮することにつながります。

当社では,超純水の処理・ 供給設備およびプロセス設備での使用に特化して開発した,ダイアフラムバルブをご用意しております。 （詳細を見る）

【GEMÜ製（GEMU）空気操作プラスチックダイアフラムバルブの特徴】

●直線的な流路構造により圧力損失は少なく、高いCv値を実現
⇒小型・軽量ながら高い流量能力

●高品質なプラスチックを使用
⇒高い耐久性

●流体や用途に豊富なボディ、ダイアフラムの材質を選定可能

●標準でポジションインジケーターを搭載
⇒バルブの開閉状況を目視で確認

●オプションで電気式インジケーターやポジショナーも搭載可能 （詳細を見る）