【分析事例】TDSによるレジスト膜の脱ガス評価一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

TDSにより有機膜からの脱ガス成分評価、温度依存性評価が可能です

TDSは高真空中（1E-7 Pa）で試料を昇温し、試料から脱離するガスを質量分析計を用いて調査する手法です。真空装置であるため有機物の多量の脱離を嫌いますが、試料量を調整することによりTDSで評価が可能です。
レジスト膜についてTDS分析を実施した例を以下に示します。有機物、水、H2S、SO2などレジスト膜起因の脱ガスが検出されました。また成分により、脱離の温度が異なることが分かりました。

基本情報【分析事例】TDSによるレジスト膜の脱ガス評価

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カタログ【分析事例】TDSによるレジスト膜の脱ガス評価

【分析事例】TDSによる有機膜の熱処理温度依存性評価

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