アプリケーション例『スラリーの供給』ゲミュージャパン

研磨性スラリーのハンドリングに最適なバルブをご提案

スラリーのハンドリングは,主に3ステップに分けられます。
・調整と混合
・供給と輸送
・除去と回収

GEMÜ製品は抵抗の少ないシート形状で,バルブと流体の双方に負荷をかけない設計となっています。

接液部の材質はすべてPTFEまたはPFAとし,十分な耐薬品性を備えるとともに,砥粒を含むスラリーの研磨性に対しても高い耐久性を持ちます。

基本情報アプリケーション例『スラリーの供給』

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	【実績例】・シリコンインゴットからウェハーへのスライシング・化学機械研磨(CMP) ・ウェハー素子形成（素子間分離層/トランジスタ）

ラインナップ

型番	概要
GEMÜ C60	PFA/PPダイアフラムバルブ
GEMÜ C67	PFA/PPダイアフラムバルブ

詳細情報アプリケーション例『スラリーの供給』

: C60シリーズ
PFA/PP製ダイアフラムバルブ。
流路での乱流を抑え,高い安定性と流量を誇ります。

: バルブマニフォールド
個別のアプリケーションに合わせて,自由にレイアウトや設計ができます。
配管の省スペース化や,接続箇所の低減で漏れのリスクを減らします。

: HydraLineシリーズ
PFA製のハイピュリティー圧力計。
スラリーでも安定した測定が可能です。

カタログアプリケーション例『スラリーの供給』

高純度ケミカルと半導体製造プロセスのコンポーナントとシステムソリューション

PDFダウンロード

取扱企業アプリケーション例『スラリーの供給』

ゲミュージャパン株式会社

【メインマーケット】 ◇医薬品・バイオテクノロジー産業 ◇食品・飲料産業 ◇化学工業・環境技術 ◇エネルギー産業 ◇水処理産業 ◇プロセス産業 ◇マイクロエレクトロニクス・半導体産業 ◇医療技術【取扱製品】 ■ダイアフラムバルブ（ダイヤフラムバルブ） ■アングルシートバルブ ■マルチポートブロックバルブその他、ボールバルブ・バタフライバルブ等の汎用バルブに加え、制御機器（ポジショナー、プロセスコントローラー）、電磁弁等も提供します。