IBAD(イオンアシスト蒸着法)装置　CVI series クリエイティブコーティングス

真空蒸着よりも緻密で強度が高く、表面が平滑な成膜が可能！

【特徴】
　・従来技術の真空蒸着法に加え、イオンビームを組み合わせた複合技術
　・低温で低エネルギー照射が可能
　・曲面や立体にも成膜が可能

【主な用途】
　・超硬工具用保護膜（c-BN）
　・食品用バリア膜（アルミ）
　・太陽電池用下地膜（アルミ）
　・光学用フィルタ膜（ZrO₂、AI₂O₃等）

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報IBAD(イオンアシスト蒸着法)装置　CVI series

装置販売だけでなく、成膜受託もお受けしております。
試作作成も可能です。ワークとご要望をお聞かせください。

【成膜スペック】
ワークサイズ：Φ100～300mm（不定形・円筒も可能）
層形成：単層膜、多層膜可（MAX4層）
パターン蒸着：メタルマスク対応（オプション）
【適応膜】
高融点金属、クロム、シリコン、アルミ、銅、SiO₂、SiN、ZnO など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

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