芝浦メカトロニクス株式会社後酸化式スパッタリング装置

多層の光学薄膜に最適な後酸化式スパッタリング装置です。

特長
■後酸化方式の採用で高生産性を実現
■優れた膜厚均一性±１％以下を実現
■水平基板搬送による全面スパッタが可能

カバーガラス用ARコート、自動車用光学部品に採用されています。
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用途／実績例	■カバーガラス用ARコート（スマートフォン、車載ディスプレイ） ■自動車用光学部品　HUD用増反射ミラー、コンバイナーなど