GasProオールフッ素樹脂ガスフィルターTEM-900シリーズエア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターです。

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。

メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。
様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。

基本情報GasProオールフッ素樹脂ガスフィルターTEM-900シリーズ

[流量]
0～30Ｌ/ｍｉｎ
[フィルターメディア]
PTFE
[その他材質]
PTFE/FEP/FKM
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度
[最大使用温度]
121℃
[最大使用圧力]
20.7MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
＜1×10 -9 atm cc/sec

◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇

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型番・ブランド名	TEM-900
用途／実績例	・Point-of-use半導体特殊ガスろ過・不活性ガスおよび特殊ガスの供給・大流量超高純度不活性ガスおよび特殊ガス・半導体、TFTフラットパネルディスプレイ、シリコンウエハー製造、太陽光発電/ソーラープロセスガス