日精株式会社 Φ4対応真空・プロセスガス高速アニール加熱システムRTP-100

GaNの結晶成長をはじめ、急速・均一な熱処理を必要とする幅広いアプリケーションに応用頂けるアニール炉です。ユニテンプジャパン製

『RTP-100』は、業界最小クラス、研究開発及び試作開発に好適な、
卓上型真空プロセス高速加熱炉です。

Φ4インチ対応、専用サセプタにより小片サンプルのプロセスも可能です。

最大到達温度1200℃で多彩なガスパージ環境に対応。

GaNやSiCなどの新材料の結晶成長やペースト材料の焼結など、
多目的にお使い頂けます。

【特長】
■窒素ガス、酸素ガス、フォーミングガス(水素+窒素)パージの他、
 高濃度水素ガスパージにも対応
■上下18本のIR (赤外)ヒーターで、正確な高速加熱が可能
■高純度石英チャンバー
■窒素ガスパージ方式による降温に対応
■プロセスガス最大4系統(MFC)
■到達真空度10-1Pa (TMP搭載のHVモデルなら10-3Paも可能)
■タッチパネル方式モニター標準装備で、オペレーションが簡単

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報Φ4対応真空・プロセスガス高速アニール加熱システムRTP-100

【仕様】
■装置サイズ(WxDxH):504 x 504 x 700mm
■装置重量:約55kg
■有効対象物サイズ(WxD):100 x 100mm
■加熱方式:IRヒーター
■最大到達温度:1200℃
■最大昇温速度(対象物の熱容量に因る):150K/sec.
■最大降温速度(対象物の熱容量に因る):190K/min.(T=1200℃>400℃)
■冷却方式:窒素ガスパージ方式
■真空到達度:10-1Pa ※HVモデルは 10-3Pa
■コントローラ:7インチタッチパネルコントローラ(SIMATIC製 TP-700)
■プロファイルプログラム登録数:最大50プログラム
■プログラムステップ数:最大50ステップ
■プロセスデータ保存先:USBメモリ/Ethernet
■電源仕様:2x三相200V 50/60Hz 最大40A(合計80A)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格情報 1000万〜1500万円(機種・オプションに依る)
価格帯 1000万円 ~ 5000万円
納期 お問い合わせください
※ご注文確定より最短3ヶ月〜4ヶ月(状況により納期が変動しますので、詳しくはお問い合わせください。)
型番・ブランド名 RTP-100/RTP-100-HV
用途/実績例 【用途】
■SiからSiC,GaN,Ga203材料など様々な高温熱処理
■窒化・酸化膜生成
■イオン注入後の結晶活性化
■オーミック性接合形成
■Low-k材熱処理
■水素アニール処理によるSiラフネス低減

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ラインナップ

型番 概要
RTP-100
RTP-100-HV
RTP-150
RTP-150-HV
RTP-150-EP
VPO-1000-300

カタログΦ4対応真空・プロセスガス高速アニール加熱システムRTP-100

取扱企業Φ4対応真空・プロセスガス高速アニール加熱システムRTP-100

会社WEB画像1.jpg

日精株式会社 本社

「商社」事業と「メーカ」事業にて展開しており、多様化するお客様のニーズに対して、ご満足いただける広範なビジネスソリューションを ご提案いたします。 ◆商社機能 「産業機械設備」  半導体製造・検査装置、医薬品製造装置  https://www.nissei.co.jp/machinery ◆商社機能 「物資・化成品等」  樹脂・金属・その他加工品、電子・電気部品  https://www.nissei.co.jp/material ◆商社機能 「情報・通信機器」  自動認識機器、アンテナ、ネットワーク通信機器  https://www.nissei.co.jp/it ◆メーカ機能 「機械式駐車場設備」  https://www.nissei.co.jp/parking ◆メーカ機能 「凍結乾燥機」  https://www.nissei.co.jp/freezedry

Φ4対応真空・プロセスガス高速アニール加熱システムRTP-100へのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度必須
ご要望必須

  • あと文字入力できます。

目的必須
添付資料
お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。

はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら

イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

日精株式会社 本社

Φ4対応真空・プロセスガス高速アニール加熱システムRTP-100 が登録されているカテゴリ