ファーストゲート株式会社 ドライアウト全自動ポリッシュ装置『6EZ』
- 最終更新日：2022-03-02 15:52:29.0
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Revasum社の枚葉処理装置！SiC基板とデバイスの歩留まり向上を提供します
『6EZ』はSiC基板とデバイスの歩留まり向上を提供できる
ドライアウト全自動ポリッシュ装置です。
Revasum社の7AF-HMGグラインダー装置と6ZEポリッシュ装置を同時に
使用することでプロセスの簡素化を提供。
当社は半導体製造装置や装置用精密部品の輸出入商社として、
広く世界に革新技術を求め、お客様の求める製品を迅速にご提案いたします。
【特長】
■150mm及び、200mm対応
■ドライイン、ドライアウト
■片面及び、両面ポリッシュ対応
■目標ポリッシュレート 10μm/時間
■1μm除去で、≦1Å表面平坦性を提供
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基本情報ドライアウト全自動ポリッシュ装置『6EZ』
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログドライアウト全自動ポリッシュ装置『6EZ』
取扱企業ドライアウト全自動ポリッシュ装置『6EZ』
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●半導体製造装置、検査装置の輸出入販売、技術サポート ●半導体製造装置関連商品の輸入販売 ●イオン注入装置ディスク再生サービス
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