日本スターテクノ株式会社 ALICAT マスフローコントローラーMCEシリーズSEMI規格
- 最終更新日：2020-11-24 13:23:33.0
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『MCE/MCESシリーズ』は、SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。
ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。
精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。
【特長】
■100msの制御応答
■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度
■10SCCMから20SLPMまでラインアップ
■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載
■混合ガスにも対応
■バックライト付き液晶表示器を標準搭載
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報ALICAT マスフローコントローラーMCEシリーズSEMI規格
【ラインアップ】
■MC/MCP/MCRシリーズ（標準タイプ）
■MCS/MCRSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応）
■MCW/MCRWシリーズ（低圧力損失タイプ）
■MCQ/MCRWシリーズ（高圧タイプ）
■MCE/MCESシリーズ（SEMI規格）
■MCV/MCVSシリーズ（シャットオフバルブ搭載）
■MCD/MCRDシリーズ（デュアルバルブ）
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログALICAT マスフローコントローラーMCEシリーズSEMI規格
取扱企業ALICAT マスフローコントローラーMCEシリーズSEMI規格
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弊社はアメリカのアリゾナ州にあるALICAT（アリキャット）社の正規代理店としてマスフローメーター、マスフローコントローラー等を販売しております。 さらに独自のデジタル指示計の開発に携わっており、ハードウェア・電子機器の制御分野においての技術があります。 開発における技術でのノウハウを活かし、使用条件・目的に応じた確実な技術サポートが強みです。 微少流量から大流量、高圧、低圧力損失、および様々な特性の流体を正確に測定可能なマスフローメーター／コントローラーやコリオリ式 CODAシリーズ 、小型熱式流量計BASISシリーズ、液体用フローメーターなど用途に合わせ様々な製品を取り扱っております。 ◆製品特徴 ・１台で98種類の多種多様なガスに対応！ ・超微少流量(0.5SCCM)から大流量(10000SLPM)までラインナップ！ ・相対湿度センサーオプション追加で湿度補正が可能。 ・液体用では、純水、メタノール、イソプロパノール、エタノール、アンモニア、 ジメチルエーテル、イソペンタン、チオフェン、イソオクタン、ヘプタン、アセトンに対応。 ※他の液体にも対応できる場合もございます。
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