ALICAT （アリキャット）マスフローコントローラー『MCE/MCVシリーズ』（SEMI規格対応／真空用）（英語）

『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローコントローラーです。

ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。
精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。

この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した
「MCS／MCRSシリーズ」や「MCW/MCRWシリーズ」「MCV/MCVSシリーズ」
などのラインアップをご用意しています。

【特長】
■100msの制御応答
■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度
■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ
■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載
■混合ガスにも対応
■バックライト付き液晶表示器を標準搭載

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『MCS/MCRSシリーズ』は、腐食性ガス／冷媒ガスを含め1台で128種類のガス流量の計測が可能なALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。

ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。
精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。

この他に、極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」などもラインアップしています。


【特長】
■100msの制御応答
■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度
■0.5SCCMから3000SLPMまでラインアップ
■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載
■混合ガスにも対応
■バックライト付き液晶表示器を標準搭載

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『MCW/MCRWシリーズ』は、非常に小さな差圧で計測が可能なため、圧力損失も非常に小さく、低圧でご使用される環境に最適なALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。

ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。
精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。

この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した「MCS/MCRSシリーズ」、などもラインアップしています。


【特長】
■100msの制御応答
■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度
■0.5SCCMから1000SLPMまでラインアップ
■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載
■混合ガスにも対応
■バックライト付き液晶表示器を標準搭載

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『MCE/MCESシリーズ』は、SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。

ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。
精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。

【特長】
■100msの制御応答
■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度
■10SCCMから20SLPMまでラインアップ
■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載
■混合ガスにも対応
■バックライト付き液晶表示器を標準搭載

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『MCV/MCVSシリーズ』は、真空用シャットオフバルブ搭載のALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。

ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。
精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。

【特長】
■100msの制御応答
■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度
■10SCCMから20SLPMまでラインアップ
■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載
■混合ガスにも対応
■バックライト付き液晶表示器を標準搭載

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製の高圧タイプのマスフローコントローラーです。

ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。
精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。

この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した
「MCHQS／MCRQSシリーズ」などのラインアップをご用意しています。

【特長】
■100msの制御応答
■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度
■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ
■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載
■混合ガスにも対応
■バックライト付き液晶表示器を標準搭載

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『MCD/MCDSシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローコントローラーです。

ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。
精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。

この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した
「MCDSシリーズ」や「MCDWシリーズ」などのラインアップをご用意しています。

【特長】
■100msの制御応答
■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度
■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ
■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載
■混合ガスにも対応
■バックライト付き液晶表示器を標準搭載

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

ALICAT（アリキャット）社の標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサーを使用し質量流量測定を行います。

■100msの制御応答
・PD制御により短時間で目標流量へ到達。流量変化にすばやく追従し、安定性のある流量制御を行います。
・ウォームアップ時間は70ms。すぐの稼動が可能です。

■アナログ出力/入力、RS-485通信を標準搭載
・0-5VDC入力による制御流量の設定が可能です。
・また現在流量を0-5VDCで出力。ロガーなどによる記録が可能。
・RS-485を標準搭載。PLCなどによる一括監視が可能です。
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『コリオリ式CODAシリーズ』は、高圧、低流量、および様々な特性の流体を正確に測定できるALICAT社(アリキャット)製のコリオリ式マスフローメーター／コントローラーです。

【投与】
触媒研究や食品生産では、添加剤の正確な投与が非常に重要です。
CODAシリーズでは、超低流量機能による成分の測定と制御に最適です。
【高圧操作】
燃料電池やロケットの研究では、精度の高い要求を満たす必要があります。地上でも空中でも4,000PSIでの流体を正確に測定することが出来ます。
【可変システム】
流体の組成がわからない工程でも、正確な測定が重要です。バイオリアクター、可変流体混合物、化学反応での流出の測定など、変化する環境でも柔軟に測定を可能にします。
【腐食性液体】
化学コーティングから半導体まで、腐食性液体は製造において多くの流体制御システムに材料の適合性の課題をもたらします。腐食性の流体環境に対応しています。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）