•豊富なバリエーション → 用途にあわせて最適な機種を選択可能 •日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
真空 (圧力) の程度を計測する計測器です。 全圧真空計と分圧真空計に別けられますが、ここでは全圧真空計を取り扱います。 全圧真空計は、下記 2 種類に大別されます。
A: ガス種に依存しない、力学的な計測方式
B: ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
基本情報*真空計（アクティブライン）
ファィファーバキューム社は独国アスラーに本社を構え、1890年より最先端の真空機器、真空計測機器、真空分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※型番・数量によって納期が変動いたします。お気軽にお問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | ファイファーバキューム社製真空計／アクティブライン |
| 用途／実績例 | 【用途】 •分析装置 •半導体装置 •加速器 •核融合装置 •その他 |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| APR250 | •ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •ピエゾゲージ •フランジ：16KF(NW16) •測定領域：上限1.1E5 Pa、下限10 Pa •最大許容圧力：3 Pa |
| APR260 | •ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •ピエゾゲージ •フランジ：16CF(ICF34) •測定領域：上限1.1E5 Pa、下限10 Pa •最大許容圧力：3 Pa |
| APR262 | •ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •ピエゾゲージ •フランジ：G1/4 |
| APR265 | •ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •ピエゾゲージ •フランジ：G1/4 |
| APR266 | •ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •ピエゾゲージ •フランジ：G1/4 |
| APR267 | •ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •ピエゾゲージ •フランジ：G1/4 |
| CMR361 | •ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •セラミックキャパシタンスゲージ •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2 |
| CMR362 | •ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •セラミックキャパシタンスゲージ •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2 |
| CMR363 | •ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •セラミックキャパシタンスゲージ •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2 |
| CMR364 | •ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •セラミックキャパシタンスゲージ •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2 |
| CMR365 | •ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •セラミックキャパシタンスゲージ •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2 |
| CMR371 | •ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •セラミックキャパシタンスゲージ 温度（45℃補正） •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2 |
| CMR372 | •ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •セラミックキャパシタンスゲージ 温度（45℃補正） •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2 |
| CMR373 | •ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •セラミックキャパシタンスゲージ 温度（45℃補正） •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2 |
| CMR374 | •ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •セラミックキャパシタンスゲージ 温度（45℃補正） •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2 |
| CMR375 | •ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •セラミックキャパシタンスゲージ 温度（45℃補正） •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2 |
| TPR280 | •ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •ピラニーゲージ •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34) •測定領域：上限1E5 Pa、下限5E-2 Pa •最大許容圧力：1E6 Pa |
| TPR281 | •ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •耐腐食性ピラニーゲージ •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34) •測定領域：上限1E5 Pa、下限5E-2 Pa •最大許容圧力：1E6 Pa |
| TPR270 | •ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •ピラニーゲージ •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34) •測定領域：上限1E5 Pa、下限1E-2 Pa •最大許容圧力：1E6 Pa |
| TPR271 | •ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •耐腐食性ピラニーゲージ •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34) •測定領域：上限1E5 Pa、下限5E-2 Pa •最大許容圧力：1E6 Pa |
| PCR280 | •ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •ピラニ&キャパシタンスコンビネーションゲージ •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34) •測定領域：上限1.5E5 Pa、下限5E-3 Pa •最大許容圧力：5E5 Pa |
| IKR360 | •ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •コールドカソードゲージ •フランジ：25KF(NW25), 40KF(NW40), 40CF(ICF70) •測定領域：上限1 Pa、下限1E-7 Pa •最大許容圧力：1E6 Pa |
| IKR361 | •ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •コールドカソードゲージ •フランジ：25KF(NW25), 40KF(NW40), 40CF(ICF70) •測定領域：上限1 Pa、下限1E-7 Pa •最大許容圧力：1E6 Pa |
| IKR270 | •ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •コールドカソードゲージ •フランジ：25KF(NW25), 40KF(NW40), 40CF(ICF70) •測定領域：上限1 Pa、下限5E-9 Pa •最大許容圧力：1E6 Pa |
| PKR360 | •ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •ピラニ&コールドカソードコンビネーションゲージ •フランジ：25KF(NW25), 40KF(NW40), 40CF(ICF70) •測定領域：上限1E5 Pa、下限1E-7 Pa •最大許容圧力：1E6 Pa |
| PKR361 | •ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •ピラニ&コールドカソードコンビネーションゲージ •フランジ：25KF(NW25), 40KF(NW40), 40CF(ICF70) •測定領域：上限1E5 Pa、下限1E-7 Pa •最大許容圧力：1E6 Pa |
| IMR265 | •ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •プロセスイオンゲージ •フランジ：16KF(NW16), 25KF(NW25), 40KF(NW40), 16CF(ICF34), 40CF(ICF70) •測定領域：上限1.5E5 Pa、下限2E-4 Pa •最大許容圧力：5E5 Pa |
| PBR260 | •ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •ピラニ&ホットカソードコンビネーションゲージ •フランジ：25KF(NW25), 40KF(NW40), 40CF(ICF70) •測定領域：上限1E5 Pa、下限5E-8 Pa •最大許容圧力：2E6 Pa |
| TPG361 | •アクティブライン用共通コントローラー •シングルゲージコントローラー •接続可能数：1 •リレー個数：2 |
| TPG362 | •アクティブライン用共通コントローラー •デュアルゲージコントローラー •接続可能数：2 •リレー個数：4 •真空度表示形式：同時表示可 |
| TPG366 | •アクティブライン用共通コントローラー •マキシゲージコントローラー •接続可能数：6 •リレー個数：6 •真空度表示形式：6ch同時表示可 |
詳細情報*真空計（アクティブライン）
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アクティブライン
•エレクトロニクス内蔵 → 専用コントローラー不要、省スペース
•ノイズに強い多機能アナログ出力 → 測定信号、エラー信号など判別可能
•ゲージコネクター形状の統一 → 複数コントローラー不要
•ゲージ自動認識 (プラグアンドプレイ) → 複数 (最大6ch) のゲージを1台のコントローラーに接続可能
カタログ*真空計（アクティブライン）
取扱企業*真空計（アクティブライン）
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