•豊富なバリエーション → 用途にあわせて最適な機種を選択可能 •日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
真空 (圧力) の程度を計測する計測器です。 全圧真空計と分圧真空計に別けられますが、ここでは全圧真空計を取り扱います。 全圧真空計は、ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式です。
基本情報*真空計(モジュールライン)
ファィファーバキューム社は独国アスラーに本社を構え、1890年より最先端の真空機器、真空計測機器、真空分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 |
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※型番・数量によって納期が変動いたします。お気軽にお問い合わせください |
型番・ブランド名 | ファイファーバキューム社製真空計/モジュールライン |
用途/実績例 | 【用途】 •分析装置 •半導体装置 •加速器 •核融合装置 •その他 |
ラインナップ
型番 | 概要 |
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TPR010 | •ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •ピラニゲージ •フランジ:10KF(NW10) •測定領域:上限1E5 Pa、下限8E-2 Pa |
TPR017 | •ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •耐腐食性&耐放射線ピラニゲージ •フランジ:16KF(NW16), 16CF(ICF34) •測定領域:上限1E5 Pa、下限8E-2 Pa •耐放射線:1E4 Gy |
TPR018 | •ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •超高真空&耐放射線ピラニゲージ •フランジ:16KF(NW16), 16CF(ICF34), 40CF(ICF70) •測定領域:上限1E5 Pa、下限8E-2 Pa •耐放射線:1E4 Gy |
IKR050(内部バイトンシール) | •ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •コールドカソードゲージ •フランジ:25KF(NW25), 40KF(NW40), 40CF(ICF70) •測定領域:上限5E-1 Pa、下限2E-7 Pa |
IKR060(内部バイトンシール) | •ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •超高真空&耐放射線コールドカソードゲージ •フランジ:40KF(NW40), 40CF(ICF70) •測定領域:上限5E-1 Pa、下限1E-8 Pa •耐放射線:1E7 Gy |
IKR070(内部バイトンシール) | •ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •超高真空&耐放射線コールドカソードゲージ •フランジ:40KF(NW40), 40CF(ICF70) •測定領域:上限5E-1 Pa、下限1E-9 Pa •耐放射線:1E7 Gy |
TPG300 | •モジュールライン用共通コントローラー •接続可能数:4 •リレー個数:5 ※要リレーボード(オプション) •真空度表示形式:切替 |
詳細情報*真空計(モジュールライン)
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モジュールライン
•多様なニーズにお応えできるラインナップ
超高真空仕様、耐腐食性仕様、耐放射線仕様
•加速器、放射光関係などの研究機関への納入実績多
カタログ*真空計(モジュールライン)
取扱企業*真空計(モジュールライン)
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