レーザースクライバーや高速チップ移載装置、真空プラズマ装置などをご紹介
大日商事株式会社が取扱う『ウエハー工程装置』についてご紹介します。
「レーザースクライバー」は、サファイア・GaN・SIC・水晶等ウエハー用
スクライバーです。
「高速チップ移載装置」は、シートtoシート0.2sec／個の高速化を実現し、
シートtoトレー搬送も適応している製品です。
その他にも、印刷前の表面改質可能な「大気圧プラズマ／真空プラズマ装置」や、
LED・LD対応の精密部品保管・搬送用の「出荷用粘着トレー」も取り扱っています。
【レーザースクライバー 特長】
■高速スループット:800mm／sec実現
■デブリレス加工
■ウエハーの反り・厚みムラ対応
■φ2～φ6インチ対応
■特許出願中
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基本情報ウエハー工程装置
【高速チップ移載装置 特長】
■最大φ6インチ対応
■シートtoトレー搬送も適応
■フルオート仕様：自動的に収納マガジンに搬送
■最大100分類まで可能
■外形寸法：1600(w)x1150(d)x1500mm
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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