【資料】小型・高密度コネクタソリューションレモジャパン

今後の更なる半導体製造装置の進化に対して小型高密度製品で「お客様のダウンサイジング・省スペース化の課題を解決」いたします。

レモの高ピン密度丸型コネクタはアプリケーションの使用スペース、装置の小型化と関連コストの最適化を可能とします。

標準の低電圧コンタクトに加えて、広い範囲の現存する複合構成商品を提供出来ます。
これにより、同軸、高電圧、光ファイバーと低電圧コンタクトを同一コネクタ内に複合化出来ます。

主なアプリケーション分野：
■ スパッタリング装置
■ ドライエッチング装置
■ 露光装置用温度測定器
■ 測長SEM他検査測定装置

関連リンク - https://www.lemo.co.jp/

基本情報【資料】小型・高密度コネクタソリューション

レモ社は、日本の半導体製造装置アプリケーション分野で20年以上の実績を持っています。
レモコネクタの特徴を活かし、ステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの半導体製造装置でレモコネクタをご使用いただいております。

主なアプリケーション分野：

高密度
■ スパッタリング装置
■ ドライエッチング装置
■ 露光装置用温度測定器
■ 測長SEM他検査測定装置

高電圧
■ イオン注入装置
■ 高電圧・高周波電源装置
■ PZT駆動装置
■ 測長SEM他検査測定装置

気密（高真空）仕様
■ ウェハハンドリング
■ セラミックヒータ
■ 電子ビーム描画装置
■ 真空チャンバー　
■ 測長SEM他検査測定装置

耐高温/耐熱性
■ セラミックヒータ
■ ドライエッチング装置
■ マスフローコントローラ
■ モールド装置
■ 露光装置光源

小型同軸
■ 電子ビーム描画装置
■ 測長SEM　他　検査測定装置
■ PZT駆動装置
■ 各種センサ

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詳細情報【資料】小型・高密度コネクタソリューション

: レモの高ピン密度丸型コネクタはアプリケーションの使用スペース、装置の小型化と関連コストの最適化を可能とします。

標準の低電圧コンタクトに加えて、広い範囲の現存する複合構成商品を提供出来ます。
これにより、同軸、高電圧、光ファイバーと低電圧コンタクトを同一コネクタ内に複合化出来ます。

主なアプリケーション分野：
■ スパッタリング装置
■ ドライエッチング装置
■ 露光装置用温度測定器
■ 測長SEM他検査測定装置