株式会社ASICON マイクロギア超微細加工による高アスペクト比メタルパーツ

最終更新日：2021-03-23 13:36:05.0
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アスペクト比100も可能。高精度･高アスペクト比のマイクロメタルパーツ

■ 製造工程: LIGAプロセス
高アスペクト比を持つ微細構造を実現する複合プロセスです。 X線リソグラフィと電鋳により，金属やポリマーの微細構造体を高精度，高アスペクト比にて実現しています。

■ マイクロギア例1
ハーモニックドライブ歯車(高精度マイクロマニピュレータ向け，高速度伝達比，バックラッシュ無し)
構造高さ1,100 µm，構造幅: 30 µm

■ マイクロギア例2 (射出成型モールド)
高アスペクト比を持つ高精度の並行構造例。
ニッケル製マイクロギアアレイ (樹脂製射出成型パーツ用のモールド)。
構造: 高さ2,000 µm，歯車の構造幅: 35 µm

基本情報マイクロギア超微細加工による高アスペクト比メタルパーツ

■ マイクロギア以外のアプリケーション例
1. 高アスペクト比メタル構造例:タルボ･ロー干渉計用のX線回折格子。高アスペクト比(例: 金の厚さ250 µm，線幅2.4 µm)の吸収格子，短周期の位相格子等を実現。
2. 金のチェッカーボード構造
周期35µm (メタル/スペース = 17.5 µm : 17.5 µm)，金の厚さは160 µm
アスペクト比: 約9

3. 微細貫通孔(X線アパーチャ。基板無し)
(a) マルチホール例 / X線マルチコリメータ
厚さ80 µmの金のメンブレン上に直径3 µmの高アスペクト円形貫通孔を規則的に多数配列。X線マルチコリメータや，微細加工装置の組み込みパーツとして使用。

(b) シングルホール例 / X線アパーチャ
厚さ200 µmの金のメンブレンの中心に，直径5 µmの高アスペクト円形貫通孔を一つ形成。放射光施設のX線アパーチャとして使用。

4. 金のハニカムメッシュ構造
6角形構造の内側にさらに微細な6角形構造が形成されている微細メタル構造。最小構造の金の線幅は約0.4 µm，高さは4 µm。

価格帯	お問い合わせください
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型番・ブランド名	microworks GmbH マイクロギア / LIGAプロセス
用途／実績例	※具体例，写真等は本ページ付属のPDFファイル（「カタログ」）にて御覧ください。 ■ マイクロギア例1 ハーモニックドライブ歯車(高精度マイクロマニピュレータ向け，高速度伝達比，バックラッシュ無し) 構造高さ1,100 µm，構造幅: 30 µm ■ マイクロギア例2 (射出成型モールド) 高アスペクト比を持つ高精度の並行構造例。ニッケル製マイクロギアアレイ (樹脂製射出成型パーツ用のモールド)。構造: 高さ2,000 µm，歯車の構造幅: 35 µm

詳細情報マイクロギア超微細加工による高アスペクト比メタルパーツ

: ■ マイクロギア例2 (射出成型モールド)
高アスペクト比を持つ高精度の並行構造例。
ニッケル製マイクロギアアレイ (樹脂製射出成型パーツ用のモールド)。
構造: 高さ2,000 µm，歯車の構造幅: 35 µm

: ■ 金のハニカムメッシュ構造
(本体) 500倍拡大のSEM画像: 6角形構造の内側にさらに6角形構造が形成されている。
(左上) 15,000倍拡大のSEM画像。金の構造幅は約0.4 µm，高さは4 µm。

カタログマイクロギア超微細加工による高アスペクト比メタルパーツ

取扱企業マイクロギア超微細加工による高アスペクト比メタルパーツ

株式会社ASICON

【X線光学: Talbot-Lau干渉計キット】/【マイクロ流体: チップと送液装置】微細加工技術に基づいた，ライフサイエンス向けの製品を販売しています。X線光学ではX線マイクロビームを形成する集光レンズや，X線位相像，X線小角散乱をX線透過像に加えて撮像できるタルボ･ロー干渉計のキットを提供しています。マイクロ流体分野では，マイクロ流体チップ(マイクロ流路を持つポリマー製のチップ)と，高精度な送液装置(ポンプ類)を御紹介しています。X線光学，マイクロ流体のいずれの分野でも，カタログ製品とカスタマイズサービスを取り揃えています。