X線タルボ･ロー干渉計キット Talint-EDU2022/06

LIGAプロセスは，高アスペクト比を持つ微細構造製造のための複合プロセスです。
X線リソグラフィと電鋳により，金属やポリマーの微細構造体を高精度，高アスペクト比(100程度)，滑らかな側壁(<50 nm)，自由な横方向形状を持つメタル構造，レジスト構造を実現します。

応用例
･タルボ干渉計向けのX線回折格子 (日本を含め世界各国の研究所，産業界に導入)
･X線集光レンズ (放射光施設向け，単色光の集光レンズ)
･マイクロギア
･ハニカムメッシュ構造
･微細貫通孔構造 (X線を始めとしたビームのアパーチャとして使用) （詳細を見る）

■ 製造工程: LIGAプロセス
高アスペクト比を持つ微細構造を実現する複合プロセスです。 X線リソグラフィと電鋳により，金属やポリマーの微細構造体を高精度，高アスペクト比にて実現しています。

■ マイクロギア例1
ハーモニックドライブ歯車(高精度マイクロマニピュレータ向け，高速度伝達比，バックラッシュ無し)
構造高さ1,100 µm，構造幅: 30 µm

■ マイクロギア例2 (射出成型モールド)
高アスペクト比を持つ高精度の並行構造例。
ニッケル製マイクロギアアレイ (樹脂製射出成型パーツ用のモールド)。
構造: 高さ2,000 µm，歯車の構造幅: 35 µm （詳細を見る）

[タルボ･ロー干渉計とは]
実験室のX線管を使用可能なタルボ･ロー(Talbot-Lau)型のX線干渉計を用いて，
･透過像(吸収)
･微分位相像(屈折)
･暗視野像(小角散乱)
が取得できます。
これら複数のモーダルを用いることで，これまでのX線画像では確認できなかったサンプルの内部構造や表面構造が把握できます。
非破壊検査や物質の構造調査，食品等の異物検査，また医療の分野にて応用されています。

[製品･サービスの特徴]
X線管と検出器を保有するラボに本キットを組み込むことで，X線タルボ･ロー干渉計を容易に導入することができます。

X線回折格子(吸収格子2枚，位相格子1枚)，格子のホルダとステージ，ステッピングモータからなるシンプルな構成です。キットを組み立てた後に，モアレ縞が検出器ですぐに確認できます。


オプション: サンプルの撮像を行っています。 （詳細を見る）