株式会社ASICON
最終更新日：2019-10-17 16:14:27.0
X線光学製品(集光レンズ，タルボ干渉計用回折格子)とLIGA微細加工技術2018年6月版
基本情報X線光学製品(集光レンズ，タルボ干渉計用回折格子)とLIGA微細加工技術
SPring-8にて豊富な実績のあるレンズと，位相コントラスト，暗視野像，吸収像の取得できるタルボ干渉計向け回折格子
1. X線レンズ
レンズ素子を複数並べることで焦点距離を短くしてX線を集光します。SPring-8やPhoton Factoryにて豊富な利用実績を持つ高エネルギー向けの製品です。集光，平行化，拡大等の用途で利用されています。
【2次元集光製品例】
･材質: エポキシ樹脂
･エネルギー: 8〜100 keV
･Working distance: 10 mm〜
･アパーチャ: 〜1,500 µm
2. カールスルーエ技術研究所(KIT)･IMTとスピンオフ企業のmicroworks GmbHは，X線リソグラフィを用いた高アスペクト比の樹脂構造と電鋳構造の作製(LIGAプロセス)に関する第一人者です。
これらの技術を用いて，狭い周期と高構造を併せ持つ回折格子を実現し，世界中に提供しています。
超微細加工LIGAプロセスによるメタルパーツ，ポリマーパーツ
LIGAプロセスは，高アスペクト比を持つ微細構造製造のための複合プロセスです。
X線リソグラフィと電鋳により，金属やポリマーの微細構造体を高精度，高アスペクト比(100程度)，滑らかな側壁(<50 nm)，自由な横方向形状を持つメタル構造，レジスト構造を実現します。
応用例
･タルボ干渉計向けのX線回折格子 (日本を含め世界各国の研究所，産業界に導入)
･X線集光レンズ (放射光施設向け，単色光の集光レンズ)
･マイクロギア
･ハニカムメッシュ構造
･微細貫通孔構造 (X線を始めとしたビームのアパーチャとして使用) （詳細を見る）
マイクロギア 超微細加工による高アスペクト比メタルパーツ
■ 製造工程: LIGAプロセス
高アスペクト比を持つ微細構造を実現する複合プロセスです。 X線リソグラフィと電鋳により，金属やポリマーの微細構造体を高精度，高アスペクト比にて実現しています。
■ マイクロギア例1
ハーモニックドライブ歯車(高精度マイクロマニピュレータ向け，高速度伝達比，バックラッシュ無し)
構造高さ1,100 µm，構造幅: 30 µm
■ マイクロギア例2 (射出成型モールド)
高アスペクト比を持つ高精度の並行構造例。
ニッケル製マイクロギアアレイ (樹脂製射出成型パーツ用のモールド)。
構造: 高さ2,000 µm，歯車の構造幅: 35 µm （詳細を見る）
取扱会社 X線光学製品(集光レンズ，タルボ干渉計用回折格子)とLIGA微細加工技術
【X線光学: Talbot-Lau干渉計キット】/【マイクロ流体: チップと送液装置】 微細加工技術に基づいた，ライフサイエンス向けの製品を販売しています。X線光学ではX線マイクロビームを形成する集光レンズや，X線位相像，X線小角散乱をX線透過像に加えて撮像できるタルボ･ロー干渉計のキットを提供しています。マイクロ流体分野では，マイクロ流体チップ(マイクロ流路を持つポリマー製のチップ)と，高精度な送液装置(ポンプ類)を御紹介しています。X線光学，マイクロ流体のいずれの分野でも，カタログ製品とカスタマイズサービスを取り揃えています。
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