お客様のニーズに応える多種多様な機構・サイズ・ストロークをラインアップ。改造や特注にも対応致します。
半導体製造装置等様々な生産現場で活躍する神津精機の精密位置決めステージの中からＺステージを特集。
直立型Ｚステージや３タイプの水平面Ｚステージをご紹介。
それぞれにテーブルサイズと型式、他にもＺステージの選定に必要なストローク、全高、耐荷重を記載。また、実力値の例も記載しております。
カスタム事例も掲載しております。
選定の一助になる資料となっております。
Ｚステージの実力値も公開中。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報【Ｚステージ特集】半導体製造・検査装置に適した高精度Ｚステージ
テーブルサイズ：40mm×40mm～160mm×160mmを標準ラインアップ。
耐荷重：50kgfまで標準ラインアップ。
標準ラインアップを超えるテーブルサイズや耐荷重、ストロークも特注対応可能。
お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ【Ｚステージ特集】半導体製造・検査装置に適した高精度Ｚステージ
取扱企業【Ｚステージ特集】半導体製造・検査装置に適した高精度Ｚステージ
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