インダストリアル関連機器カタログ Vol.21

当カタログでは『クリーンルーム機器/設備』をご紹介しております。

”エアーシャワー”や”パスボックス”、”ハンドドライヤー/
ハンドウォッシャー””大粒子除去装置/脱塵装置”といった製品を
掲載。

また、”クリーンルームの清浄度規格”といった資料も載っています。
ぜひ、ご一読ください。

【掲載内容】
■クリーンルーム
■入室管理機器/設備
■クリーンルーム周辺機器
■クリーンルーム内部機器
■排気管理機器
■クリーンサプライ製品
■資料

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『標準06型 パスボックス』は、低発塵ヒンジにより、塵埃の発生を抑える
入室管理機器/設備です。

扉用電磁ロック、片側扉開閉時のお知らせ表示灯ブザーにより、操作性が
向上。プログラム制御にて詳細動作を変更できます（EPB型を除く）。

また、埃溜まりを抑える凹凸の少ないフラットな構造、視認性のよい
大型窓（無色透明強化ガラス) を採用しました。ご用命の際はお気軽に
お問い合わせください。

【特長】
■扉用電磁ロック、片側扉開閉時のお知らせ表示灯ブザーにより、操作性が向上
■プログラム制御にて詳細動作を変更できる（EPB型を除く）
■低発塵ヒンジにより、塵埃の発生を抑制
■EPB型を除くオプションとして、殺菌灯により車内除菌（自動消灯設定可）
■HPB型はHEPAフィルターによるクリーンアップ機能付で庫内を清浄化（自動停止設定可）
■バイオ関連に好適な高気密扉、全SUS仕様もご用意

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当社が取り扱う、入室管理機器/設備『クリーンオートパスボックス』を
ご紹介します。

インターロック機構付で、高効率DCブラシレスモーターを採用しました。

エアーシャワー型のほか、エアーカーテン型もご用意。オプションとして
ローラーコンベアもございます。

【特長】
■高効率DCブラシレスモーターを採用
■インターロック機構付
■タッチ式操作パネル
■搬送ラインとの連動が可能
■ローラーコンベアはオプション
■エアーシャワー型のほか、エアーカーテン型もご用意

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当社が取り扱う、入室管理機器/設備『自動扉付シャワーパスボックス』を
ご紹介します。

電源はAC200V 3φ 50/60Hzで、消費電力はコンベアを含まず約4200VAです。

また、外径寸法はW2500×D2656×H3250mm。本体は鋼板製焼付塗装となって
います。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【仕様（一部）】
■型式：AASB06-20.27.20
■集塵効率：0.3μm粒子にて99.99％以上
■集塵要素
　・メインフィルター：HEPAフィルター（ATML-10-E41Z）×4
　・プレフィルター：ポリエステル不織布フィルター（400×350×t12）×4

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当社が取り扱う、入室管理機器/設備『シャワーパスボックス』を
ご紹介します。

低発塵ヒンジの採用により、塵埃の発生を抑制。オプションとして
取付フランジ、架台がございます。

また、「シャワーパスボックス」もご用意しておりますので、
ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■低発塵ヒンジを採用
■塵埃の発生を抑制
■取付フランジ、架台はオプション
■エアーシャワー型のほか、エアーカーテン型もご用意

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『保冷庫用エアーカーテン』は、設置場所を取らない省スペース型の
入室管理機器/設備です。

保冷庫の空調負荷低減、および霜取りなどのメンテナンス費用が
削減可能。

保守は通過開口の内側から可能で、断熱壁への埋込設置も対応して
います。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■約75％の高い熱遮断効率を発揮
■高効率DCブラシレスターボファンを搭載
■エアーカーテン吹出風速の多段変速制御が可能
■設置場所を取らない省スペース型
■保冷庫の空調負荷低減

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『サーマルクリーンチャンバー』は、清浄度がISOクラス4（クラス10）の
クリーンルーム内部機器です。

PID制御、超精密部品および温度精度に合わせた気流システムを採用しており、
温度ゆらぎ精度は0.1℃～0.002℃まで可能。

また、湿度制御は40～60％RHの標準仕様範囲のほか、5～40％RHの低湿度仕様の
ご要望にもお応えします。

【特長】
■清浄度はISOクラス4（クラス10）
■±0.1℃～±0.005℃の温度コントロールが可能
■内蔵装置に合わせた設計が可能
■複数の保護回路により安全性を考慮

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『恒温低湿クリーンチャンバー』は、清浄度がISOクラス5（クラス100）の
クリーンルーム内部機器です。

チャンバー内の相対湿度は5～30％RH（22℃にて）の範囲で設計。吹出風速は
風量コントローラーにより、調整ができます。

当社は豊富なクリーン化技術と経験により、温度・湿度制御機能を付加した
「サーマルクリーンチャンバー」を多数、設計・製作しています。

【特長】
■清浄度はISOクラス5（クラス100）
■チャンバー内の相対湿度は5～30％RH（22℃にて）の範囲で設計
■チャンバー内の温度は±1℃以内の制御が可能
■吹出風速は風量コントローラーにより、調整ができる

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当社が取り扱う、クリーンルーム内部機器『横型全自動レチクルストッカー』を
ご紹介します。

自社開発のクラス1対応多関節アーム式ロボットを採用（超低発塵機構、絶対値
制御式サーボモータ、CCDカメラ搭載による位置補正、品種管理が可能)。

また、レチクルケースはニコン製・キャノン製の6inchのほか5inchレチクルケース、
SMIFケース等特殊ケースにも対応できます。

【特長】
■棚前面にULPAフィルターを装着しレチクルケースはフィルター直下にストック
■ケース入出庫時の衝撃防止のため、棚受けはデルリン樹脂成型加工品を使用
■自動搬送装置にセット出来るほか、手動、AGV装置によっても入出庫が可能
■パソコン内蔵のため、自社開発のソフトが豊富
■お客様のホストコンピューターとのリンクも可能

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当社が取り扱う、クリーンルーム内部機器『縦型全自動レチクルストッカー』を
ご紹介します。

ケース入出庫時の衝撃防止のため、棚受けはデルリン樹脂成型加工品を使用。
パソコン内蔵のため、自社開発のソフトが豊富です。

また、自社開発のクラス1対応多関節アーム式ロボットを採用しています（超低発塵
機構、絶対値制御式サーボモータ、CCDカメラ搭載による位置補正、品種管理が可能)。

【特長】
■棚前面にULPAフィルターを装着しレチクルケースはフィルター直下にストック
■レチクルケースはニコン製・キャノン製の6inchのほか5inchレチクルケース、
　SMIFケース等特殊ケースにも対応可能
■ケース入出庫時の衝撃防止のため、棚受けはデルリン樹脂成型加工品を使用
■自動搬送装置にセット出来るほか、手動、AGV装置によっても入出庫が可能
■パソコン内蔵のため、自社開発のソフトが豊富

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当社が取り扱う、クリーンルーム内部機器『マニュアルレチクルストッカー』を
ご紹介します。

バーコードリーダーと棚位置表示灯による管理が可能（在庫保管用コンピューター
との連動）。

棚数は30段×6列で、管理項目は入出庫時間、製品名、入出庫回数となっています。
ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■保管棚の清浄度はISO3～4（クラス1～10）
■バーコードリーダーと棚位置表示灯による管理ができる
　（在庫保管用コンピューターとの連動）
■低価格で約100～300枚の保管に好適

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当社が取り扱う、クリーンルーム内部機器『保管庫』をご紹介します。

「リサイクル型クリーンシェルフ」をはじめ「シューズ乾燥庫」や
「オールフレッシュクリーンシェルフ」などをラインアップ。

また、大径キャスターを採用した「バッテリー式移動保管庫」や自走式で
楽々移動できる「モーター駆動クリーンワゴン」もございます。

【ラインアップ（一部）】
■リサイクル型クリーンシェルフ
■シューズ乾燥庫
■オールフレッシュクリーンシェルフ
■クリーン乾燥庫

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半導体工業におけるウエハーの焼鈍やレジスト膜の乾燥、 光学分野での
洗浄後のレンズ乾燥および医療器材の無菌乾燥等は高温・高清浄度環境で
制御された「クリーンオーブン」が好適です。

当社では、庫内温度60～200℃の”標準”や、蒸気オーブン・大型オーブン
といった方式の”特殊”な『クリーンエアーオーブン』を取り扱っております。

また、製品や材料の寸法、種類に応じて様々なご要望に対応。ご用命の際は
お気軽にお問い合わせください。

【標準クリーンエアーオーブン 仕様（一部）】
■型式：ACO-200-554K
■清浄度（常温時、総合効率にて）：ISOクラス5（クラス100）
■集塵効率：0.3μm粒子にて99.97％以上
■集塵要素
　・メインフィルター：高温用HEPAフィルター
　・プレフィルター：不織布フィルター

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当社が取り扱う、排気管理機器『ドラフト装置』をご紹介します。

クリーンルームや作業者へ悪影響を及ぼす有害ガスや薬塵・塵埃を
多量に発生させる作業に対し、これらを発生源で捕えることにより
人の安全を確保し、他の空間への汚染を防止。

省排気型や防爆型等、各種取り揃えています。ご用命の際はお気軽に
お問い合わせください。

【特長】
■有害ガスや薬塵・塵埃を多量に発生させる作業に対し、
　これらを発生源で捕えることにより人の安全を確保
■他の空間への汚染を防止
■省排気型や防爆型等、各種ご用意

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当社が取り扱う、ドラフト装置『ダクトレス ヒュームフード』を
ご紹介します。

軽いガスは天井面から、重いガスは背面と全面から吸引し、
庫内より速やかに除去。

取手付きで、フィルター交換時には簡単に取りはずしができ、
推奨交換時期は表示ランプでお知らせします。

【特長】
■独自の気流方式で効率よく換気
■交換が簡単なガス除去フィルター
■軽いガスは天井面から、重いガスは背面と全面から吸引
■推奨交換時期は表示ランプでお知らせ

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当社が取り扱う、ドラフト装置『ナノパーティクル排気ベンチ』をご紹介します。

当製品はナノ粒子作業用。排気気流により作業者をナノ粒子の曝露から防ぎます。

外径寸法はW1400×D780×H1420mmで、重量は約170kg（本体：約120kg、
収納ケース：約50kg）です。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【仕様（一部）】
■型式：ADN-1300LSB
■集塵効率：0.3μm粒子にて99.99％以上
■集塵効率
　・メインフィルター：HEPAフィルター
　・プレフィルター：不織布フィルター

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