CHEMFISH TOKYO株式会社 N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン
- 最終更新日：2024-01-11 10:54:25.0
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英語化学名：TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE分子式：C6H19N3Si分子量： 161.32
英語化学名： TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
化学名： N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン
分子式： C6H19N3Si
分子量： 161.32
CAS番号：15112-89-7
基本情報N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン
融点 :<0°C
沸点 :145 °C
比重(密度) :0,838 g/cm3
屈折率 :1.4247
闪点 :25°C
酸解離定数(Pka):10.93±0.70(Predicted)
外見 :液体
色:無色～淡黄色
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| 用途／実績例 | Tris(dimethylamino)silane (TDMAS) is used as an organosilicon source for the deposition of Si oxynitride; carbonitride; nitride and oxide thin films. It is also used to form multicomponent silicon containing thin films. The depositions can be carried out at low substrate temperatures (<150). The melting point and vapor pressure of TDMAS is in a suitable working range; thus making it a very good vapor deposition precursor. |
詳細情報N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン
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融点 :<0°C
沸点 :145 °C
比重(密度) :0,838 g/cm3
屈折率 :1.4247
闪点 :25°C
酸解離定数(Pka):10.93±0.70(Predicted)
外見 :液体
色:無色～淡黄色
取扱企業N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン
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【製品】 ■電子材料中間体 ■難燃剤 ■電解液添加剤 ■イオン液体 「バッテリグレード」 ■フッ素化合物 /3M 代替品 ■医薬中間体 ■光開始剤 ■ガス ■CVD ALD前駆体 ■委託合成
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