環境対応湿式装置のグローバルサプライヤーとして着実に成長を続けています!
ヨーロッパに本社を置くSiconnex(サイコネックス)は、半導体業界および関連分野向けの
湿式化学装置の世界的なメーカーです。
当社は、MEMS、パワー半導体、アナログ/混合信号半導体、III-V半導体などの
幅広い最終製品の表面を準備するためのBATCHSPRAY装置を提供しています。
当社の装置は、安全性、自動化、コンパクトな設置面積、高スループット、
経済的リソースの効率的な使用により、業界標準を確立しています。
下記の弊社ソリューションへのニーズが高まっています。
〇環境対応:オゾンでの洗浄・レジスト剝離
〇少量多品種に最適・小フットプリントで多様なプロセス
〇EPDでエッチング終了時点を自動検知
【取扱製品】
■BATCHSPRAY Clean Autoload
■BATCHSPRAY Acid Autoload
■BATCHSPRAY Solvent Autoload
■BATCHSPRAY Acid/Solvent Autoload
■BATCHSPRAY Acid/Clean Autoload
■BATCHSPRAY Solvent
■BATCHSPRAY Acid
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