CHEMFISH TOKYO株式会社 フルオロメタン CH3F 593-53-3
- 最終更新日：2024-08-13 15:08:49.0
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フルオロメタン CH3F 593-53-3
Si3N4の異方性エッチングガスとして、SiO2やSiに対する選択比が高く、3次元NAND、DRAM、Fin-FET半導体デバイス製造の前工程微細構造エッチングプロセスで注目されている
基本情報フルオロメタン CH3F 593-53-3
Si3N4の異方性エッチングガスとして、SiO2やSiに対する選択比が高く、3次元NAND、DRAM、Fin-FET半導体デバイス製造の前工程微細構造エッチングプロセスで注目されている
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | CHEMFISH |
| 用途／実績例 | Si3N4の異方性エッチングガスとして、SiO2やSiに対する選択比が高く、3次元NAND、DRAM、Fin-FET半導体デバイス製造の前工程微細構造エッチングプロセスで注目されている |
カタログフルオロメタン CH3F 593-53-3
取扱企業フルオロメタン CH3F 593-53-3
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【製品】 ■電子材料中間体 ■難燃剤 ■電解液添加剤 ■イオン液体 「バッテリグレード」 ■フッ素化合物 /3M 代替品 ■医薬中間体 ■光開始剤 ■ガス ■CVD ALD前駆体 ■委託合成
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