シグマ光機株式会社 10nmフィードバックステージ FS-1020PX/XY

【10nm分解能】フィードバック制御により位置の分解能・再現性・保持性が優れた位置決めステージ

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。
エンコーダの位置情報をもとにフィードバック制御を行い、高分解能・高い位置再現性・高い位置保持性を持っています。

フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせて使用することでストローク『 20mm 』間を『 10nm 』分解能で動作します。

基本情報10nmフィードバックステージ FS-1020PX/XY

最小分解能:10nm
最大移動速度:10mm/sec(FC-514使用時)
ストローク:20mm
対応コントローラ:FC-511

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価格情報 -
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型番・ブランド名 FS-1020PX / FS-1020PXY
用途/実績例 フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。

代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。
例)MEMSの検査時の位置決め
  光学系のディレイステージ
  顕微鏡ステージ

カタログ10nmフィードバックステージ FS-1020PX/XY

取扱企業10nmフィードバックステージ FS-1020PX/XY

シグマ光機.png

シグマ光機株式会社

■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機(集光光学系)、レーザ加工機(すきゃにん光学系)、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ

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