【ストローク40mm】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置保持性が高い位置決めステージ!
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。
自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れております。
フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせることでエンコーダの読み取り値の『10nm』分解能で『40mm』ストロークで動作させることができます。
基本情報10nmフィードバックステージ FS-1040PX/XY
最小分解能:10nm
最大移動速度:10mm/sec(FC-511使用時)
ストローク:40mm
対応コントローラ:FC-511
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価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | FS-1040PX / FS-1040PXY |
用途/実績例 | フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。 代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。 例)マイクロデバイスの位置決め 光学系の光学遅延用ステージ 各種顕微鏡の試料ステージ |
カタログ10nmフィードバックステージ FS-1040PX/XY
取扱企業10nmフィードバックステージ FS-1040PX/XY
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