【精密位置決め装置】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ！
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。
『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。
自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、
位置決め後の位置保持性を備えております。
(*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ
基本情報10nmフィードバックステージ FS-1050PX/XY
より扱い安く、そしてフィードバック可能なステージです。
フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせで10nm分解能の制御を行うことができます。
自社開発したリニアスケールを内蔵していながら、薄型で軽量な設計になっています。
またフルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能です。
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| 価格情報 | - |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FS-1050PX / FS-1050PXY |
| 用途／実績例 | フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。 代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。 例）MEMSの検査時の位置決め 光学系のディレイステージ 顕微鏡ステージ |
カタログ10nmフィードバックステージ FS-1050PX/XY
取扱企業10nmフィードバックステージ FS-1050PX/XY
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■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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