シグマ光機株式会社 10nmフィードバックステージ FS-1050PX/XY

【精密位置決め装置】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ!

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。

自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、

位置決め後の位置保持性を備えております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ

基本情報10nmフィードバックステージ FS-1050PX/XY

より扱い安く、そしてフィードバック可能なステージです。

フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせで10nm分解能の制御を行うことができます。

自社開発したリニアスケールを内蔵していながら、薄型で軽量な設計になっています。

またフルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能です。


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価格情報 -
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型番・ブランド名 FS-1050PX / FS-1050PXY
用途/実績例 フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。

代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。
例)MEMSの検査時の位置決め
  光学系のディレイステージ
  顕微鏡ステージ

カタログ10nmフィードバックステージ FS-1050PX/XY

取扱企業10nmフィードバックステージ FS-1050PX/XY

シグマ光機.png

シグマ光機株式会社

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