長距離(150mm)を細かく位置決め可能!『精密位置決め装置(分解能:10nm)』光学分野での研究開発に最適。
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージ。
長ストローク(150mm)を細かく(10nm単位※)位置決め可能。
ストロークが長いため、光学実験での光学遅延を作るのに適しています。
自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性を位置決め後の位置保持性を備えております。
※フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ
■詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログダウンロードしてください。
基本情報長ストロークに対応!精密位置決め装置
より扱い安く、そしてフィードバック可能なステージです。
フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせで10nm分解能の制御を行うことができます。
自社開発したリニアスケールを内蔵していながら、薄型で軽量な設計になっています。
またフルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能です。
■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■
価格情報 | - |
---|---|
納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | FS-3150PX / FS-3150PXY |
用途/実績例 | フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。 光学分野ではポンプ-プローブ法を利用した分光顕微鏡などに使用されています。 代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。 |
カタログ長ストロークに対応!精密位置決め装置
取扱企業長ストロークに対応!精密位置決め装置
長ストロークに対応!精密位置決め装置へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。