センサ・変換器が一体型で超コンパクト！IP67準拠でノイズに強く、故障も防止 EGE社の『フロースイッチ SC440シリーズ』は、 センサ・変換器一体型で、コンパクトな熱線式フロースイッチです。 オールSUSハウジングでノイズに強く、故障しにくいほか、 流量も自由に調整できるため、誰でも手軽に使えます。 【特長】 ■保護等級 IP67 ■流量の見やすいLED表示 ■10MPaの耐圧 ■使用温度範囲は－20～＋80℃ ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

SDSなど低差圧にて動作可能なマスフローコントローラです 独自の技術で低圧においてもガス流量が制御可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能 ○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御も可能 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○高速・高性能なピエゾアクチュエータを搭載 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

軽量・コンパクトで持ち運びが可能な校正器 フル、又はセミオートマチックの流量キャリブレーションシステムです。 マスフローメータ及びマスフローコントローラ(ガスサービス）用です。 現場でキャリブレーションチェックに向いています。 【特徴】 ○軽量・コンパクトで持ち運びが可能な校正器 ○国家基準までトレーサブル 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 ※こちらのカタログは英語のカタログになります。

詰まりにくく、低圧損のマスフローメータ・コントローラです。腐食性ガスにも適合します。専用設計のセンサと層流素子を搭載しています。 LOW-ΔP-FLOWシリーズは、低圧損アプリケーション用にブロンコスト・ハイテックが開発したマスフローメータ/コントローラです。低圧損構造のセンサと層流素子を採用しており、低差圧での運転に最適です。 最小レンジ：0.2...10 mln/min 最大レンジ：20...1000 m3n/h 特徴 ・極低圧損 ・詰まりにくくパージし易い構造 ・工業仕様のハウジング(IP65)提供可能 低圧損マスフローコントローラLOW-ΔP-FLOWはコンパクト設計で、フローメータ、調節弁をワンボディーに収納された構成になっています。これらコンパクトモデルの最大流量キャパシティーは、運転条件にもよりますが、1...50 ln/min（空気ベース）になります。低差圧で大流量制御の場合は、圧力補償型ベローズバルブと低圧損タイプ流量計（コントローラ内蔵）との組合せで提供します。 さらに、機器はコンパクトな通信用PCBを追加することにより各種フィールドバスプロトコルに対応致します；DeviceNetTM, Profibus-DP(R), EtherCAT, Modbus又はFLOW-BUSプロトコル

分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備えたマスフローコントローラ。半導体製造コストの改善に貢献。 気体用マスフローコントローラ　MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。 ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。 【特長】 ○ラバーシール採用により低価格での提供を実現 ○流量精度は±1.0%F.S.を保証 ○幅広い流量レンジに対応 ○オプションのバリアブルレンジ機能により、1台で複数の仕様に対応可能 　（ガス種、F.S.、流量を変更可能） ○金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作 ※その他機能や詳細については、PDFをダウンロード下さい。