減圧・常圧プロセス用高効率気化器　VU-450 液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です（US PAT.5372754）。 【特長】 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 　 各種液体を精密流量制御し、効率よく気化（US PAT.5372754） ○常圧条件下で水の気化供給が可能 ○最高200℃の加熱が可能 ○コンパクトなボディサイズ ○キャリアガスの流量に応じた豊富なバリエーション 　 （1SLM〜100SLM） ○RoHS対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

気体、液体、圧力制御が可能な高速応答ピエゾコントロールバルブです ビエゾコントロールバルブCV-3000シリーズは、外部からの制御入力により気体、液体の流量制御、あるいは圧力制御などが可能な高速応答バルブです。 制御方法として、オーブンループ式ならびにクローズドループ式が使用できます。 【特長】 ○積層圧電素子を用いたバルブの為、高速制御可能 ○高推力、高分解能バルブの為、微小流量、低圧力の精密制御可能 ○気体ならびに液体の流量制御および圧力制御可能 ○接続部は、金（Au）製メタルシールを採用しているので、 　 実質的にリークフリー ○パーティクルフリーの材質、構造設計 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

EL-FLOWの進化型！多機能なガス用マスフローメータ/コントローラを掲載 EL-FLOW Prestigeは新世代のブロンコスト製ガス用マスフローメータ・コントローラです。ほぼ全ての構成部品が設計し直され、多くの改良と革新が取り込まれています。ブロンコストはこの新たなシリーズに「温度差バランス技術」を導入し、優れた安定性を実現しています。動的挙動の向上のため、革新的な多段階制御ループを組み込んだ新設計・省電力マイクロプロセッサを搭載しています。新たな金属製ハウジングは、コンパクトでありながら高い堅牢性を有しています。 【特徴】 ○革新的なセンサー ○独創的な層流素子 ○進化したコントロールバルブ ○アップグレードされたエレクトロニクス ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備えたマスフローコントローラ。半導体製造コストの改善に貢献。 気体用マスフローコントローラ　MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。 ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。 【特長】 ○ラバーシール採用により低価格での提供を実現 ○流量精度は±1.0%F.S.を保証 ○幅広い流量レンジに対応 ○オプションのバリアブルレンジ機能により、1台で複数の仕様に対応可能 　（ガス種、F.S.、流量を変更可能） ○金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作 ※その他機能や詳細については、PDFをダウンロード下さい。