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インライン型ウェハー測定モジュール
インラインでのウェハー/セルの全数検査、ソーティングが可能です。...
メーカー・取り扱い企業: 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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薄膜光学特性を非破壊で測定! 手軽に高精度測定できる分光エリプソメト…
の分光エリプソメーター『GES5E』は、従来の光学測定器では不可能だった薄膜光学特性の測定を非破壊で実現しました。 薄膜、多層膜の膜厚、各層の屈折率(N,K値)波長分散を算出。研究開発からインライン生産品質管理ほかあらゆる分野で活躍しています。 【測定可能な物理特性】 ■厚さ光学屈折率 ■屈折率の勾配と材料組成 ■ドーパント濃度...
メーカー・取り扱い企業: 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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u-PCD法でのマッピング測定が可能であり、太陽電池、半導体のマーケッ…
測定が可能であり、太陽電池、半導体のマーケットに非常に多くの実績があります。 シリコン・ブロック/ウェハーのライフタイム測定をし、マッピング表示が可能です。 ※ シリコンウェハー/ブロックのインライン全自動測定装置もございます。 ...
メーカー・取り扱い企業: 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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