Particle-PLUS 同時スパッタリング装置のプラズマ解析

正確な形状を考慮した、デュアルマグネトロンスパッタの解析が可能

株式会社ウェーブフロントが自社開発した、粒子法プラズマ解析ソフト ウェア『Particle-PLUS』は基盤とターゲットが平衡でないような装置の 場合の同時マグネトロンスパッタリングでも解析が可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

Particle-PLUS マイクロトレンチ上での薄膜生成の解析

マクロとミクロの両スケールから成膜プロセスを解析可能

株式会社ウェーブフロントが自社開発した、粒子法プラズマ解析ソフト ウェア「Particle-PLUS」は基板上に微小溝(マイクロトレンチ)が あるような場合でもマグネトロンスパッタリングの解析ができます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社