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ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンは、地球温暖化係数（GWP）が非常に…
ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン(C4F6)とは、地球温暖化係数(GWP)が非常に低く、大気寿命も短いため、環境への負荷が非常に小さいです。シリコン酸化膜の微細加工にはエッチングレートが早く、選択度や精度などが高いという特徴で高アスペクト比の半導体エッチングプロセスに適用されます。そのほか、有機合成においてフッ素系機能性材料の開発にも原料として用いられます。...
メーカー・取り扱い企業： UniPo株式会社
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