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技術情報誌 202304-01 エリプソメトリーを用いた薄膜評価
エリプソメトリによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁…
、光学定数(屈折率・消衰係数)や膜厚を評価する手法として知られている。2021年に導入した高速分光エリプソメトリーM-2000UIによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価について解析例を紹介する。 【目次】 1. はじめに 2. エリプソメトリーについて 3. PVA膜スピンコート直後の経時変化 4. シリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価 5. お...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社東レリサーチセンター
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技術情報誌 201911-02 バイオイメージングへの取り組み
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
oSIMS 6.おわりに 【図表】 図1~図14 ラット肝臓のMALDI-MSイメージング イオン化支援基板を用いたMSスペクトル、LDI-MSイメージング ラット小脳・毛髪のイオンエッチングのTOF-SIMSイメージング マウス脳および脊髄のLA-ICP-MSイメージング 毛髪断面・免疫染色したマウス神経線維ののNanoSIMSイメージング...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社東レリサーチセンター
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