技術情報誌 202304-01 エリプソメトリーを用いた薄膜評価

エリプソメトリによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁…

、光学定数（屈折率・消衰係数）や膜厚を評価する手法として知られている。2021年に導入した高速分光エリプソメトリーM-2000UIによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価について解析例を紹介する。 【目次】 １. はじめに ２. エリプソメトリーについて ３. PVA膜スピンコート直後の経時変化 ４. シリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価 ５. お...

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分析講座【表面分析（XPS、TOF-SIMS）】ライブ、特典付　

本講座は、表面分析手法であるXPS (ESCA）とTOF-SIMSの原…

分析法（TOF-SIMS）について、原理と特徴、応用事例を紹介します。 [1] XPS / ESCA：材料表面中に存在する水素, ヘリウムを除くすべての元素の組成と化学結合状態を評価する手法。エッチングを併用した深さ方向分析、気相化学修飾法を適用して有機材料のカルボキシル基・水酸基・第１アミンなどの検出・定量が可能。仕事関数など電子状態の解析も可能。 [2]TOF-SIMS：極最表面における...

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技術情報誌 201911-02 バイオイメージングへの取り組み

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

oSIMS ６．おわりに 【図表】 図１～図14 ラット肝臓のMALDI-MSイメージング イオン化支援基板を用いたMSスペクトル、LDI-MSイメージング ラット小脳・毛髪のイオンエッチングのTOF-SIMSイメージング マウス脳および脊髄のLA-ICP-MSイメージング 毛髪断面・免疫染色したマウス神経線維ののNanoSIMSイメージング...

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