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エッチングプロセス用の湿式除害装置です。
本装置は、エッチングプロセス用の湿式除害装置です。 Cl2、HBr、BCl3、HCl、HF、SiF4、etc対象ガスを、 従来の湿式除害では出来なかったTLV値以下まで除去することが可能です。 【特長】 ...
メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
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