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クリーンルーム内の、使用したガスを無害化する装置のコントロールや状態監…
『クリーンルーム環境モニタリングシステム』は、使用したガスを無害化する装置のコントロールや状態監視などを行なうシステムです。半導体・液晶デバイスなどの製造や研究施設があるクリーンルーム内は特殊ガスなどを使用し...
メーカー・取り扱い企業: 広和計装株式会社
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