クリーンルーム内部機器『クリーンエアーオーブン』

レジスト膜の乾燥などに好適！製品や材料の寸法、種類に応じて様々なご要望…

半導体工業におけるウエハーの焼鈍やレジスト膜の乾燥、 光学分野での 洗浄後のレンズ乾燥および医療器材の無菌乾燥等は高温・高清浄度環境で 制御された「クリーンオーブン」が好適です。 当社では、庫内温度60～200℃の”標準”や、蒸気オーブン・大型オーブン といった方式の”特殊”な『クリーンエアーオーブン』を取り扱っております。 また、製品や材料の寸法、種類に応じて様々なご要望に対応...

メーカー・取り扱い企業： 日本エアーテック株式会社 本社