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2インチから12インチウェーハへの成膜が可能です。
ェーハ(6インチから12インチ)に対応 ○レチクルご支給による、露光/エッチングも対応(8インチと12インチ) ○レジスト塗布/露光/エッチングは4インチ~12インチまで対応可能 ○バックグラインダー:直径5インチ~12インチ ○ダイシング:直径5インチ~12インチ 【12インチ 対応可能膜種】 ○酸化膜系:熱酸化、RTO、LP-TEOS、HDP-USG、P-TEOS、PSG、BP...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エナテック 東京本社
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少量ウェーハに対応!研究・テスト用途に便利なウェーハ販売サービス! ハ…
板も対応可、ウェーハを支給していただきSOIウェーハへ加工することも可能です。 *パーティクル管理されていないダミーウェーハ(コインロール)も取り扱っております。 *各種加工:成膜・グラインダー(30μm以下も可能)ダイシング・エッジ部面取り加工・サイズダウン・パターニング・シリコン及び化合物半導体ウェーハ再生(リクレイム)・再洗浄、測定及び分析サービス等も対応可能。 シリコン...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エナテック 東京本社
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