スリム型100nm分解能ステージ（50mm）

エンコーダ内蔵！高分解能位置決めステージ

自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルの特注例です。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化...型式：FS-1050X(S) ストローク：50 mm 専用コントローラ使用時 分解能：100 nm...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社