超高感度 質量分析装置　WATMASS－MPH DAシステム

【新発想の質量分析法】MEMSやライフサイエンスデバイス、半導体などの…

『WATMASS－MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計 「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材（0.2% BeCu合金）の 技術を組み合わせた新しい発想の質量分析装置です。 弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS－MPH システム』では破壊及び、 リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能です。 MEMSやライフサイエンスデバイス、あ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

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