プラズマモニタ

エッチング・スパッタ・CVD等プラズマモニタに好適！

ために多くのお客様から選ばれています。 これらの発光スペクトルから求めたプラズマ特性を監視し、 半導体製造におけるプラズマベースのプロセス制御等に好適です。 『プラズマモニタ』は、スタンダードモデルのFLAMEをはじめ、高分解能モデルの HR4000またはバッファリング対応UV高感度モデルOCEAN HDX等の 分光器と関連アクセサリにより構成することが可能です。 半導体製...

メーカー・取り扱い企業： オーシャンフォトニクス株式会社

小型 近赤外ファイバマルチチャンネル分光器 Flame-NIR

非冷却InGaAsディテクタを内蔵した小型・低価格な近赤外用ファイバマ…

Flame-NIRは、非冷却InGaAsディテクタを内蔵した小型・低価格な近赤外用ファイバマルチチャンネル分光器です。スタンダードモデルのFlameと同じサイズでデザインされています。消費電力が低く、USBバスパワーによる使いやすさもそのままです。ユーザ側でスリット交換が可能で、1台の分光器で測定に応じた波長分解能、スルー...

メーカー・取り扱い企業： オーシャンフォトニクス株式会社