自動制御盤『クリーンルーム環境モニタリングシステム』

クリーンルーム内の、使用したガスを無害化する装置のコントロールや状態監…

『クリーンルーム環境モニタリングシステム』は、使用したガスを無害化する装置のコントロールや状態監視などを行なうシステムです。半導体・液晶デバイスなどの製造や研究施設があるクリーンルーム内は特殊ガスなどを使用しているため、人体に危険な状況が発生する可能性があります。このため内部にいる作業員の安全確保が必要不可欠となります。SCADAソフトなどを使いガス制御、各センサーなど多彩な情報をリアルタイムでモ...

メーカー・取り扱い企業： 広和計装株式会社