マクロ検査装置『ARCscan　TypeRE&ME兼用』

今まで困難だった高速・高感度・大面積のマクロ観察が可能なツール！

【特性】 (Type:RE〕 ■大面積のパターンの均一性を高速にマクロ検査 　→ナノインプリントモールド、導光板、拡散板、レンズアレイ ■エッジ反射マクロ光学技術でパターン形状と相関性の高いエッジ検出 〔Type:ME〕 ■マクロ光学系でナノの評価が可能 　→シリコン・Si...

メーカー・取り扱い企業： スミックス株式会社