高真空アングルバルブシリーズ

片側回転フランジのため、取付けが容易！3種類の接続形式に、手動及び自動…

『高真空アングルバルブシリーズ』は、豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを 内蔵した長寿命の真空バルブです。 取り扱いが非常に便利なISO規格のNW-KFフランジ付きと、超高真空用及び 有毒なガス系にも使用可能...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

ゲートバルブ『コンパクトコスラーズII』

小型化、軽量化を追及！IKCの新技術を導入したゲートバルブのご紹介

『コンパクトコスラーズII』は、次世代のLSI及びLCDの製造装置にも 使用可能な高品質の角型ゲートバルブです。 IKC独自の技術により、無摺動で装置内を高度なハイクリーン状態に保ち、 シール保持時間が長く、逆圧シールに対し安定したシール性能を発揮します。 また、お客様からのご要求を反映...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

コスラーズゲートバルブ

開口幅400mm～2000mm！第六世代、第七世代基板に対応したゲート…

FPD製造装置におけるガラス基板の大型化に対し、IKCは半導体製造装置、 真空機器などで培った技術と独自の技術開発により、これに応える 大型のゲートバルブを開発しました。 FPD製造装置向けとして各世代の基板サイズに対応したバルブをシリーズ化 しましたので紹介致します。 【ラインアップ】 ■KOSLARZE-II：昇降用シリンダとカ...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

特殊形状ベローズ

取付誤差吸収用から伸縮変位用と様々なニーズに合った製品を御提案致します…

作する「自由形ベローズシリーズ」をラインアップ。 様々なニーズに合った製品を御提案致します。 【特長】 ■矩形ベローズシリーズ ・チャンバーとチャンバーの接続部やチャンバーとゲートバルブの 　接続部の取り付け誤差吸収用 ・折込ベローズと溶接ベローズの2種類ご用意 ■長円形ベローズシリーズ ・矩形ベローズでは変位性能を出しにくい角部を半円状にする事で 　変位性能を向上させ...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社