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Auシール、ピエゾアクチュエータを採用!各種デジタルインターフェイスに…
【仕様(抜粋)】 ■MC-7100 ・流量レンジ(N2 換算):5~5000SCCM ・バルブ動作:ノーマリクローズ ・流量制御範囲:2~100%F.S. ・必要差圧:50~300kPa ■MC-7200 ・流量レンジ(N2 換算):10, 20SLM ・バルブ動作:ノーマリクロ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社リンテック 東京営業所
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