不織布パッド『SUBA(TM)』

幅広い用途に使いやすい不織布パッド

『SUBA(TM)』はシリコンウェーハやガラス基板、サファイア基板から GaN・SiC基板まで様々な種類の基板に対応できる研磨パッドとして、 高い性能と安定性・信頼性を発揮する不織布パッドです。 様々な用途に対応できる幅広いラインアップで理想的な研磨仕上がりを達成します。 より平坦度を重視した硬質系、平面度を重視...

メーカー・取り扱い企業： アンカーテクノ株式会社

独立発泡ウレタンパッド

デバイスウェーハのCMPプロセスにおける業界標準品

当社では、デバイスCMPにおける業界標準のウレタンパッドを 取り扱っております。 特殊ポリウレタン材料をベースに、高均一な微小発泡を持つユニークな 構造はスラリーをうまく保持しながら、被加工物へ均等に行き渡らせ、 優れた加工均一性を発揮しま...

メーカー・取り扱い企業： アンカーテクノ株式会社

各種基板向け研磨スラリー『Machplaner(TM)シリーズ』

ニッタ・デュポン株式会社が製造する高品質な国産スラリー

【ラインアップ】 ■MS2020：摩擦抵抗低減、パッド表面温度が上がりにくい ■MS2100：洗浄性に優れる、高圧研磨に好適 ■MS3000(A液物性値)：2液混合タイプ、高研磨レート ■ST2010：表面粗さ低減、原液使用 ■MS4100：...

メーカー・取り扱い企業： アンカーテクノ株式会社