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NXテクノロジーを導入した完全自動化産業用AFM
、分解能 0.5μm ・300mm：駆動 375mmx300mm、分解能 0.5μm ■電動Zステージ ・Z駆動距離：30mm ・分解能：0.08μm、再現性 < 1μm ■電動フォーカスステージ ・Z駆動距離：11mm、直上光学系 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： パーク・システムズ・ジャパン株式会社
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