イオンビームスパッタリング装置

RFイオンソースを使用し、シングルステージまたはプラネタリーステージを…

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 【装置仕様概略】 　・スパッタリング用イオンソース 　　フォーカスグリッド 　・アシスト用イオンソース 　　デフォーカスグリッド 　・シングルステージ 　・ターゲットホルダー 　・排気系 　・制御系 【オプション】 　・プラネタリーステージ ...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社