粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)な…

を評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社